CI系统(以色列)股份有限公司本杰明·布罗西洛获国家专利权
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龙图腾网获悉CI系统(以色列)股份有限公司申请的专利温度测量装置和多个辐射源之间的同步获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116034255B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180055720.6,技术领域涉及:G05D23/19;该发明授权温度测量装置和多个辐射源之间的同步是由本杰明·布罗西洛设计研发完成,并于2021-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本温度测量装置和多个辐射源之间的同步在说明书摘要公布了:方法、系统、装置和设备通过在激活状态和非激活状态之间切换一个或多个源来测量基板的温度。当处于激活状态时,所述一个或多个源加热基板的至少一部分。当处于非激活状态时,所述一个或多个源基本上不引起辐射或引起产生的可忽略的辐射量。温度测量装置与所述激活状态和非激活状态之间的切换同步,使得温度测量装置基本上仅在所述一个或多个源处于非激活状态时测量所述基板的至少一部分的温度。
本发明授权温度测量装置和多个辐射源之间的同步在权利要求书中公布了:1.一种用于测量一基板的温度的方法,其特征在于,所述方法包括: 在以下之间切换具有由小于100毫秒的多个上升和下降时间定义的多个响应时间的一个或多个源: 一激活状态,其中所述一个或多个源加热所述基板的至少一部分,以及 一非激活状态,其中所述一个或多个源基本上不引起辐射或者引起产生的可忽略的辐射量;以及 通过一温度测量装置执行对所述基板的所述至少一部分的温度测量,所述温度测量装置与所述激活状态和所述非激活状态之间的所述切换同步,使得: i在所述多个响应时间内,所述一个或多个源从所述激活状态切换到所述非激活状态,并且在所述一个或多个源切换到所述非激活状态后立即开始温度测量, ii在温度测量完成后,立即在所述多个响应时间内将所述一个或多个源从所述非激活状态切换到所述激活状态,以及 iii所述温度测量仅在所述一个或多个源处于所述非激活状态时执行。
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