江苏鲁汶仪器股份有限公司王耀获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的专利一种闪耀光栅的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116009132B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111228702.1，技术领域涉及：G02B5/18；该发明授权一种闪耀光栅的制造方法是由王耀;李佳鹤;蒋中原;彭泰彦;许开东设计研发完成，并于2021-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种闪耀光栅的制造方法在说明书摘要公布了：本申请实施例公开了一种闪耀光栅的制造方法，首先提供制造闪耀光栅的衬底，并在衬底上覆盖图案化的掩膜，之后利用第一刻蚀速率，以图案化的掩膜为掩蔽，刻蚀衬底，在衬底上会形成垂直于所述衬底所在平面的断面，而后利用第二刻蚀速率，继续刻蚀衬底，降低断面的高度，其中第一刻蚀速率是第二刻蚀速率的N倍，也就是说，本申请实施例提供的闪耀光栅的制造方法，首先利用较高的刻蚀速率刻蚀衬底，得到闪耀光栅的大致结构，该结构中包括断面，而后利用较低的刻蚀速率继续刻蚀衬底，以修复由第一刻蚀速率形成的断面，最终形成结构参数较好的闪耀光栅。
本发明授权一种闪耀光栅的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种闪耀光栅的制造方法，其特征在于，所述方法包括： 提供衬底，所述衬底上覆盖有图案化的掩膜； 利用第一刻蚀速率，以所述掩膜为掩蔽，刻蚀所述衬底，所述衬底上形成有垂直于所述衬底所在平面的断面； 利用第二刻蚀速率，继续刻蚀所述衬底，以降低所述断面的高度，所述第一刻蚀速率是所述第二刻蚀速率的N倍，所述N大于或等于1； 所述利用第二刻蚀速率，继续刻蚀所述衬底包括： 利用所述第二刻蚀速率，继续刻蚀所述衬底第二预设时间，所述第二预设时间根据所述断面的高度和所述第二刻蚀速率进行确定； 所述利用第一刻蚀速率，以所述掩膜为掩蔽，刻蚀所述衬底包括： 利用所述第一刻蚀速率，以所述掩膜为掩蔽，刻蚀所述衬底第一预设时间，以形成具有预设高度的断面。
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