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龙图腾网获悉华东理工大学申请的专利一种基于空间相位调制器和液晶器件的曝光装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115981103B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211341017.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种基于空间相位调制器和液晶器件的曝光装置是由王骁乾;罗锻斌;郑致刚;沈冬设计研发完成，并于2022-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于空间相位调制器和液晶器件的曝光装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基于空间相位调制器和液晶器件的曝光装置，包括光源控制模块、光强和偏振控制模块、调焦伺服模块、样品安置模块、电压控制模块和监视模块，光源控制模块包括第一可切换反射镜以及光源切换组件，光强和偏振控制模块包括：光强调制组件，用于接收光源控制模块输出的光束，并调制光束中每个像素点光强；偏振调制组件，用于调制由光强调制组件出射的光束中每个像素点偏振态；第一可切换反射镜用于切换进入或退出光强调制组件和偏振调制组件之间的光路；调焦伺服模块和样品安置模块均切换正对偏振调制组件或第一可切换反射镜。与现有技术相比，本发明赋予了曝光装置更多的自由度，曝光过程简单高效，满足实验教学及科研工程的需求。

本发明授权一种基于空间相位调制器和液晶器件的曝光装置在权利要求书中公布了：1.一种基于空间相位调制器和液晶器件的曝光装置，包括调焦伺服模块3、样品安置模块4和电压控制模块5，其特征在于，所述曝光装置还包括光源控制模块1以及光强和偏振控制模块2，所述光源控制模块1包括第一可切换反射镜103以及用于实现不同颜色光源切换的光源切换组件， 所述光强和偏振控制模块2包括： 光强调制组件，用于接收光源控制模块1输出的光束，并调制光束中每个像素点光强； 偏振调制组件，用于调制由光强调制组件出射的光束中每个像素点偏振态； 所述第一可切换反射镜103位于光强调制组件和偏振调制组件之间，用于切换进入或退出所述光强调制组件和偏振调制组件之间的光路； 所述调焦伺服模块3和样品安置模块4均通过运动控制部件切换正对所述偏振调制组件的输出光路或正对所述第一可切换反射镜103的反射光路； 当所述第一可切换反射镜103退出所述光强调制组件和偏振调制组件之间的光路，所述调焦伺服模块3和样品安置模块4正对所述偏振调制组件的输出光路时， 所述光源切换组件生成的光束依次经过光强调制组件和偏振调制组件，进而进入调焦伺服模块3，由此来独立调制由偏振调制组件输出的光束中每个像素点的光强和线偏振方向； 当所述第一可切换反射镜103进入所述光强调制组件和偏振调制组件之间的光路，所述调焦伺服模块3和样品安置模块4正对所述第一可切换反射镜103的反射光路时， 所述光源切换组件生成的光束经过光强调制组件后进入调焦伺服模块3，由此来独立调制光束中每个像素点的光强。

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