住友重机械工业株式会社冈田康弘获国家专利权
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龙图腾网获悉住友重机械工业株式会社申请的专利激光退火装置的控制装置及激光退火方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115803852B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180043232.3，技术领域涉及：H10P34/42；该发明授权激光退火装置的控制装置及激光退火方法是由冈田康弘;万雅史设计研发完成，并于2021-06-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本激光退火装置的控制装置及激光退火方法在说明书摘要公布了：控制装置控制退火装置，该退火装置使激光束入射于半导体晶片的表面，并使激光束的光束点在半导体晶片的表面上移动，从而进行激光退火。该控制装置将激光束的光束点的扫掠速度设为快于半导体晶片的热扩散率除以半导体晶片的厚度而得的值的两倍。由此，能够充分地提高半导体晶片的激光照射面的温度并且能够抑制非照射面的温度上升。
本发明授权激光退火装置的控制装置及激光退火方法在权利要求书中公布了：1.一种控制装置，其控制退火装置，所述退火装置使激光束入射于半导体晶片的表面，并使所述激光束的光束点在所述半导体晶片的表面上移动，从而进行激光退火，所述控制装置的特征在于， 将所述激光束的光束点的扫掠速度设为快于所述半导体晶片的热扩散率除以所述半导体晶片的厚度而得的值的两倍。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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