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龙图腾网获悉西安电子科技大学杭州研究院申请的专利一种激光剥离氧化镓的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115781046B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211507127.3，技术领域涉及：B23K26/38；该发明授权一种激光剥离氧化镓的方法是由韩根全;贾晓乐设计研发完成，并于2022-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种激光剥离氧化镓的方法在说明书摘要公布了：本发明属于半导体功率器件技术领域，具体公开一种激光剥离氧化镓的方法。本发明通过向氧化镓内部照射具有预定波长的超短脉冲激光，使激光聚焦在距离表面特定厚度的位置发生双光子吸收过程，该过程产生的高温引起氧化镓热分解，从而达到剥离氧化镓的目的。本发明的剥离方法相比传统衬底切割技术，可显著降低氧化镓衬底的切割消耗，切割后的衬底经过抛光后可以重复使用，有助于降低氧化镓器件制造成本。

本发明授权一种激光剥离氧化镓的方法在权利要求书中公布了：1.一种激光剥离氧化镓的方法，其特征在于，包括如下步骤： 1标记热分解平面：沿氧化镓衬底的Z轴方向移动氧化镓衬底，使脉冲激光聚焦后的焦点位于氧化镓内部，再分别沿氧化镓衬底的X轴方向和Y轴方向间隔移动氧化镓衬底，以便脉冲激光的焦点在氧化镓衬底内部逐点曝光，在氧化镓衬底内部的曝光处发生双光子吸收形成一系列烧蚀点，从而在氧化镓衬底内部标记出与氧化镓衬底表面相平行的热分解层；所述曝光的激光能量为1-20μJ；所述脉冲激光的光子能量为2.756eV-2.870eV，激光脉冲宽度为10fs-500ps，峰值功率密度为1×1010Wcm2-1×1013Wcm2； 2形成热分解平面：分别沿氧化镓衬底的X轴方向和Y轴方向间隔移动氧化镓衬底，以便脉冲激光的焦点在氧化镓衬底内部逐点曝光，在氧化镓衬底内部的曝光处发生双光子吸收形成一系列烧蚀点，从而在氧化镓衬底内部标记的热界面上形成热分解层，再从热分解层处剥离氧化镓衬底上部分和氧化镓衬底下部分；所述脉冲激光的光子能量为2.756eV-2.870eV，激光脉冲宽度为10fs-500ps，峰值功率密度为1×1010Wcm2-1×1013Wcm2；所述曝光的激光能量为0.1-10μJ； 步骤1所述间隔移动的距离大于步骤2所述间隔移动的距离。

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