绍兴中芯集成电路制造股份有限公司高冰玲获国家专利权
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龙图腾网获悉绍兴中芯集成电路制造股份有限公司申请的专利一种监控晶圆化学镀层质量的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115763287B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211232082.3，技术领域涉及：H10P74/20；该发明授权一种监控晶圆化学镀层质量的方法是由高冰玲设计研发完成，并于2022-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种监控晶圆化学镀层质量的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种监控晶圆化学镀层质量的方法，包括：提供表面已形成化学镀层的晶圆，化学镀层包括第一金属层及位于第一金属层表面的第二金属层，第二金属层与第一金属层采用不同的金属元素形成；在晶圆的第二金属层表面贴膜，对贴膜后的晶圆在预设时间内持续加热，加热一段时间后将膜剥离，然后利用显微镜观察第二金属层表面，若观察到有局部色差，则表明第一金属层的镀层质量异常。若第一金属层表面产生了尖刺状缺陷，则第二金属层镀液会沿尖刺状缺陷缝隙渗入其中，晶圆受热后缝隙内镀液挥发出来的气体受到膜的阻挡无法逃逸并不断腐蚀膜表面的胶层以及第二金属层表面，显微镜下可观察到第二金属层表面形成局部色差。
本发明授权一种监控晶圆化学镀层质量的方法在权利要求书中公布了：1.一种监控晶圆化学镀层质量的方法，包括： 提供表面已形成化学镀层的晶圆，所述化学镀层包括采用化学镀方式形成的第一金属层以及采用化学镀方式在所述第一金属层的表面形成的第二金属层，所述第二金属层与所述第一金属层采用不同的金属元素形成，其特征在于： 在所述晶圆的所述第二金属层的表面贴膜； 对贴膜后的所述晶圆在预设时间内持续加热； 将加热后的所述晶圆表面的所述膜进行剥离； 将剥膜后的所述晶圆放置于显微镜下观察所述第二金属层的表面是否有颜色异常，若观察到有局部色差，则表明所述第一金属层的镀层质量异常。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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