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龙图腾网获悉錼创显示科技股份有限公司申请的专利晶圆缺陷检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115753822B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211510403.1，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权晶圆缺陷检测设备是由黄奕嘉;林京亮设计研发完成，并于2022-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆缺陷检测设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆缺陷检测设备，适于检测包括两检测特征的待测样品。晶圆缺陷检测设备包括载台、光源模块及图像传感器。载台适于承载待测样品。光源模块用以输出检测光线至载台上的待测样品并反射此反射光线，检测光线包括第一光线及第二光线的频谱，第一光线与第二光线具有相异的两峰值波长，第一光线的频谱适于检测其中一检测特征，第二光线的频谱适于检测另一检测特征，第一光线的光强度与第二光线的光强度独立地控制，反射光线包含图像画面，且图像画面显示两检测特征。图像传感器设置于反射光线的路径上，并适于接收图像画面。本发明的晶圆缺陷检测设备可通过一次检测，即可得到具有高对比度的检测特征的图像画面，以具有高检测效率。

本发明授权晶圆缺陷检测设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆缺陷检测设备，适于检测待测样品，所述待测样品包括两检测特征，其特征在于，所述晶圆缺陷检测设备包括： 载台，适于承载所述待测样品； 光源模块，用以输出检测光线至所述载台上的所述待测样品检测光线照射在待测样品上之后反射出反射光线，所述检测光线包括第一光线的频谱及第二光线的频谱，所述第一光线与所述第二光线具有相异的两峰值波长，所述第一光线的所述频谱适于检测所述两检测特征的其中一者，所述第二光线的所述频谱适于检测所述两检测特征的另一者，所述第一光线的光强度与所述第二光线的光强度独立地控制，所述反射光线包含图像画面，且所述图像画面显示所述两检测特征；以及 图像传感器，设置于所述反射光线的路径上，并适于接收所述图像画面， 在所述图像画面中，所述两检测特征的每一者在所述反射光线检测下具有输出对比度，所述两检测特征的每一者在所述第一光线检测下具有第一原生对比度，所述两检测特征的每一者在所述第二光线检测下具有第二原生对比度，且各所述输出对比度分别介于所述检测特征的所述第一原生对比度与所述第二原生对比度之间。

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