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龙图腾网获悉迈康尼股份公司申请的专利光束位置图像优化获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115702390B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180041558.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权光束位置图像优化是由A.斯文松;F.伊伦设计研发完成，并于2021-05-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本光束位置图像优化在说明书摘要公布了：一种用于获得工件图案化装置的补偿图案的方法，该方法包括根据具有多个边缘的校准图案印刷数据使用能够在第二方向上扫描的多个同时操作的曝光光束印刷S11校准图案。测量S12边缘的位置。计算S13实测位置相对于校准图案的偏差。将每个偏差与使用的曝光光束、扫描位置和网格分数位置相关联S14。计算S15用于在印刷之前调整图案印刷数据的边缘表示以补偿计算的偏差的边缘补偿数据。所述边缘补偿数据取决于使用的曝光光束、扫描位置和网格分数位置。

本发明授权光束位置图像优化在权利要求书中公布了：1.一种用于获得工件图案化装置的补偿图案的方法，包括以下步骤： -使用在第一方向X上分开的多个同时操作的曝光光束34；34A-E印刷S11校准图案60； 所述多个同时操作的曝光光束34；34A-E能够在横向于所述第一方向X的第二方向Y上扫描； 所述印刷是根据校准图案印刷数据进行的； 所述校准图案60具有在所述第二方向上延伸的多个边缘62、64； -在所述印刷的校准图案中，对于所述第二方向Y上的多个扫描位置测量S12所述边缘67在所述第一方向上的位置； -根据所述校准图案印刷数据计算S13所述边缘67的实测位置相对于所述边缘62、64的预期位置的偏差； -将每个偏差与所述同时操作的曝光光束34；34A-E中所用的负责印刷相应边缘的曝光光束34A-E相关联S14，与在所述第二方向Y上印刷所述边缘的多个位置的扫描位置相关联S14，并且与所述同时操作的曝光光束34；34A-E中负责印刷相应边缘的所述曝光光束34A-E的所述第一方向X上的网格分数位置66L、66T相关联S14； 所述网格分数位置66L、66T是所述边缘相对于所述同时操作的曝光光束34；34A-E中负责印刷相应边缘的所述曝光光束34A-E的预期覆盖区域的边缘55的所述预期位置； -计算S15用于在印刷之前调整图案印刷数据的边缘表示以补偿所述计算的偏差的边缘补偿数据； 所述边缘补偿数据取决于所述使用的曝光光束34A-E、所述第二方向Y上的所述扫描位置和所述第一方向X上的所述网格分数位置66L、66T。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人迈康尼股份公司，其通讯地址为：瑞典泰比；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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