鑫天虹(厦门)科技有限公司林俊成获国家专利权
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龙图腾网获悉鑫天虹(厦门)科技有限公司申请的专利键合机的对准机构及对准方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115692287B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110845766.X,技术领域涉及:H10P72/50;该发明授权键合机的对准机构及对准方法是由林俊成设计研发完成,并于2021-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本键合机的对准机构及对准方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种键合机的对准机构,尤指一种晶圆键合机的对准机构,主要包括一载台、三个第一对准单元及三个第二对准单元。载台的承载面具有一放置区用以放置一第一基板,其中第一对准单元及第二对准单元环绕设置在承载面的放置区周围。第一对准单元包括一底部及一凸出部,其中凸出部朝放置区的方向凸出底部。第一对准单元的底部用以定位第一基板,而第一对准单元的凸出部则用以承载一第二基板,并以第二对准单元定位放置在第一对准单元的凸出部上的第二基板,使得第二基板对准第一基板,以利于第一基板及第二基板的键合重叠。
本发明授权键合机的对准机构及对准方法在权利要求书中公布了:1.一种键合对准方法,其特征在于,包括: 将一第一基板放置在一载台的一承载面上,其中该承载面具有一放置区; 三个对准单元朝该承载面的该放置区位移,以定位放置在该载台的该承载面上的该第一基板,使得该第一基板对准该放置区; 三个承载单元朝该承载面的该放置区位移,并用以承载一第二基板; 该三个对准单元朝该承载面的该放置区位移,以定位该承载单元承载的该第二基板,使得该第二基板对准该第一基板;及 该承载单元远离该承载面的该放置区,并将承载的该第二基板放置在该第一基板上。
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