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龙图腾网获悉中国人民解放军国防科技大学申请的专利高隔离度低启动电压串联接触式双臂悬梁MEMS开关获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115662846B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211378948.1，技术领域涉及：H01H59/00；该发明授权高隔离度低启动电压串联接触式双臂悬梁MEMS开关是由陈柏池;林铭团;郭岳儒;龙世新;袁博秋;查淞设计研发完成，并于2022-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本高隔离度低启动电压串联接触式双臂悬梁MEMS开关在说明书摘要公布了：本发明公开了一种高隔离度低启动电压串联接触式双臂悬梁MEMS开关，包括衬底、及第一CPW传输线、第二CPW传输线、第三CPW传输线、第一悬臂开关结构与第二悬臂开关结构，第三CPW传输线设在衬底上且位于第一CPW传输线与第二CPW传输线之间的位置；第一悬臂开关结构的一端与第一CPW传输线相连，另一端与第三CPW传输线的一端相连；第二悬臂开关结构的一端与第二CPW传输线相连，另一端与第三CPW传输线的另一端相连。本发明应用于微电子机械领域，通过降低上电极和驱动电极的间隙有效降低驱动电压的同时，还通过串联单悬臂开关两级级联的方式实现了高隔离度，使MEMS开关能更好地支撑射频系统的应用。

本发明授权高隔离度低启动电压串联接触式双臂悬梁MEMS开关在权利要求书中公布了：1.一种高隔离度低启动电压串联接触式双臂悬梁MEMS开关，包括衬底以及间隔设在所述衬底上的第一CPW传输线与第二CPW传输线； 其特征在于，还包括第三CPW传输线、第一悬臂开关结构与第二悬臂开关结构，所述第三CPW传输线设在所述衬底上且间隔位于所述第一CPW传输线与所述第二CPW传输线之间的位置； 所述第一悬臂开关结构的一端与所述第一CPW传输线相连，所述第一悬臂开关结构的另一端与所述第三CPW传输线的一端相连； 所述第二悬臂开关结构的一端与所述第二CPW传输线相连，所述第二悬臂开关结构的另一端与所述第三CPW传输线的另一端相连； 所述第一悬臂开关结构包括第一锚点、第一驱动电极、第一上电极与第一接触点；所述第一驱动电极设在所述衬底上，且所述第一驱动电极间隔位于所述第一CPW传输线与所述第三CPW传输线之间；所述第一锚点设在所述第一CPW传输线上朝向所述第三CPW传输线的一端，所述第一接触点位于所述第三CPW传输线上朝向所述第一CPW传输线的一端；所述第一上电极的一端与所述第一锚点相连，另一端位于所述第一接触点的正上方，且所述第一驱动电极位于所述第一上电极中部的正下方； 所述第二悬臂开关结构包括第二锚点、第二驱动电极、第二上电极与第二接触点；所述第二驱动电极设在所述衬底上，且所述第二驱动电极间隔位于所述第二CPW传输线与所述第三CPW传输线之间；所述第二锚点设在所述第二CPW传输线上朝向所述第三CPW传输线的一端，所述第二接触点位于所述第三CPW传输线上朝向所述第二CPW传输线的一端；所述第二上电极的一端与所述第二锚点相连，另一端位于所述第二接触点的正上方，且所述第二驱动电极位于所述第二上电极中部的正下方。

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