上海微电子装备(集团)股份有限公司王飞获国家专利权
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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利一种氮气保护装置及激光退火设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115547874B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110739366.0，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种氮气保护装置及激光退火设备是由王飞;赵仁洁;黄元昊;王黎明;罗兵设计研发完成，并于2021-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氮气保护装置及激光退火设备在说明书摘要公布了：本发明属于显示设备制造技术领域，公开了一种氮气保护装置及激光退火设备，该氮气保护装置包括喷嘴机构和回收机构，所述喷嘴机构设置于所述回收机构的上方，所述喷嘴机构用于向下喷射氮气，所述回收机构用于抽取空气，以在所述喷嘴机构和所述回收机构之间形成气帘。气帘可以有效阻隔其外部空气流场对其内部的影响，减少涡流存在，保证氮气气氛平稳供给；同时能在喷嘴机构和回收机构之间形成很高的真空度，从而有效降低氧气浓度，经试验验证，氧气浓度可控制在100ppm以内甚至更低。
本发明授权一种氮气保护装置及激光退火设备在权利要求书中公布了：1.一种氮气保护装置，其特征在于，所述氮气保护装置包括喷嘴机构1和回收机构2，所述喷嘴机构1设置于所述回收机构2的上方，所述喷嘴机构1用于向下喷射氮气，所述回收机构2用于抽取空气，以在所述喷嘴机构1和所述回收机构2之间形成气帘； 所述喷嘴机构1包括： 喷嘴本体11，其呈环形且具有中空的进气腔，所述喷嘴本体11的端面上开设有与所述进气腔相连通的喷气口111，所述喷气口111用于向下喷射所述氮气； 所述喷气口111设有多个，且呈环形均匀分布于所述喷嘴本体11的端面上； 所述喷嘴本体11垂直于竖直方向的下端面12上设置有所述喷气口111； 所述下端面12和所述喷嘴本体11的内环面之间设置有倾斜的过度斜面13，所述过度斜面13由所述内环面朝向所述下端面12的方向倾斜，所述过度斜面13上开设有所述喷气口111。
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