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龙图腾网获悉上海果纳半导体技术有限公司武汉分公司申请的专利一种晶圆检测装置、晶圆装载装置和晶圆传输装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115527899B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211279879.9，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种晶圆检测装置、晶圆装载装置和晶圆传输装置是由叶莹;张庆;鲍伟成;王文广;祝佳辉;梁烁;王旭晨;张冬峰设计研发完成，并于2022-10-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆检测装置、晶圆装载装置和晶圆传输装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆检测装置、晶圆装载装置和晶圆传输装置，其中晶圆检测装置，包括架体、连杆机构和一对安装臂，一对安装臂上安装有一对传感器，连杆机构能推动一对安装臂安装有传感器的端部在第一方向沿直线往复移动。其中连杆机构包括推杆，推杆沿架体在第二方向做直线往复移动；转臂，转臂的一端与推杆的端部铰接，另一端端部与一对安装臂固定；摆臂，摆臂一端与架体铰接，另一端与转臂靠近安装臂的一端铰接。连杆机构的设置让一对传感器可实现水平伸缩，避免了传感器在伸出和缩回过程中与晶圆装载盒或晶圆的碰撞，且驱动件的移动方向和传感器所发出光线的移动方向垂直，大大节约了空间，使整体结构更加紧凑和稳定。

本发明授权一种晶圆检测装置、晶圆装载装置和晶圆传输装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检测装置，其特征在于：包括架体、连杆机构和一对安装臂，一对所述安装臂上安装有一对传感器，两个安装臂间隔设置，位于晶圆两侧，所述连杆机构能推动一对安装臂安装有传感器的端部在第一方向沿直线往复移动；其中所述连杆机构包括 推杆，所述推杆沿架体在与第一方向垂直的第二方向做直线往复移动； 转臂，所述转臂的一端与推杆的端部铰接，另一端端部与一对所述安装臂固定，一对所述安装臂与转臂平行且位于同一平面； 摆臂，所述摆臂一端与架体铰接，另一端与所述转臂靠近安装臂的一端铰接； 所述转臂与推杆的旋转轴线、转臂与摆臂的旋转轴线和安装臂端部的传感器的对射光线相互平行且位于同一平面；所述转臂与推杆的旋转轴线到所述转臂与摆臂的旋转轴线的垂直距离、所述安装臂端部的传感器的对射光线到所述转臂与摆臂的旋转轴线的垂直距离、所述摆臂与架体的旋转轴线到转臂与摆臂的旋转轴线的垂直距离相同； 所述摆臂设置有两个，两个所述摆臂之间转动连接有第一轴，所述转臂套接在第一轴上并能绕第一轴转动；所述架体包括两个间隔设置的立杆，两个所述立杆沿第二方向延伸，所述摆臂与立杆铰接； 所述架体上设置有横杆，所述转臂设置有向上延伸的凸台，所述凸台设置在靠近转臂与推杆的旋转轴线的一侧，所述推杆沿第一方向正向移动时，所述凸台能与横杆的下端面抵靠；所述架体上设置有至少一个挡块，所述挡块用于限定安装臂沿第一方向朝向所述架体移动的距离，所述推杆沿第一方向反向移动时，所述挡块能与摆臂抵接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海果纳半导体技术有限公司武汉分公司，其通讯地址为：430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷大道特1号国际企业中心三期1栋4层03号D295室(自贸区武汉片区)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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