应用材料公司N·帕塔克获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于半导体处理系统的底部净化获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115443528B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180030923.X，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权用于半导体处理系统的底部净化是由N·帕塔克;V·普拉巴卡尔;B·N·拉马穆尔蒂;V·卡尔塞卡尔;T·A·恩古耶;J·C·罗查-阿尔瓦雷斯设计研发完成，并于2021-03-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于半导体处理系统的底部净化在说明书摘要公布了：示例性基板处理系统可以包括多个处理区域。所述系统可以包括限定与多个处理区域流体耦合的转移区域的转移区域外壳。所述系统可以包括多个基板支撑件，并且多个基板支撑件中的每个基板支撑件可以在转移区域与多个处理区域中的相关联的处理区域之间垂直平移。所述系统可以包括转移装置，所述转移装置包括延伸穿过转移区域外壳的可旋转轴。转移装置可包括与可旋转轴耦接的终端受动器。终端受动器可包括限定与净化源流体耦接的中央孔的中央毂。终端受动器还可以包括多个臂，所述多个臂具有与多个基板支撑件的基板支撑件数量相等的臂数量。
本发明授权用于半导体处理系统的底部净化在权利要求书中公布了：1.一种基板处理系统，包括： 多个处理区域； 转移区域外壳，所述转移区域外壳限定与所述多个处理区流体耦合的转移区域； 多个基板支撑件，所述多个基板支撑件中的每个基板支撑件能在所述转移区域与所述多个处理区域中的相关联的处理区域之间垂直平移；以及 转移装置，所述转移装置包括： 延伸穿过所述转移区域外壳的可旋转轴，和 与所述可旋转轴耦接的终端受动器，其中所述终端受动器包括限定中央孔的中央毂，所述中央孔与净化源流体耦接，其中所述中央孔延伸穿过所述中央毂的顶面，并且其中所述终端受动器进一步包括多个臂，所述多个臂具有与所述多个基板支撑件的基板支撑件数量相等的臂数量， 其中所述可旋转轴限定一个或多个孔，所述一个或多个孔与净化源流体耦接，所述一个或多个孔被配置为将净化气体输送到形成在所述终端受动器和所述转移区域外壳之间的中央容积。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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