丽瑞德公司S·莱梅特获国家专利权
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龙图腾网获悉丽瑞德公司申请的专利微机电系统及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115397767B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180025464.6，技术领域涉及：B81C1/00；该发明授权微机电系统及其制造方法是由S·莱梅特设计研发完成，并于2021-04-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本微机电系统及其制造方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种微机电系统10的制造方法，其包括以下步骤：#在基板13上形成30机电元件11；#制备31封装包装18，以形成集成所述机电元件11的密封腔室12，所述密封腔室12具有小于10mm33的体积；#在所述基板13上或在所述封装包装18的壁17上物理气相沉积32吸气剂膜15，使得所述吸气剂膜15具有小于8m22g的比吸收表面积；以及#借助于具有能够活化所述吸气剂膜15的温度的热密封循环将所述封装包装18密封33在所述基板13上。
本发明授权微机电系统及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种微机电系统10的制造方法，包括以下步骤： ■在基板13上形成机电元件11； ■制备封装包装18，以形成集成所述机电元件11的密封腔室12，所述密封腔室12具有小于10mm3的体积； ■在所述基板13上或在所述封装包装18的壁17上物理气相沉积吸气剂膜15，使得所述吸气剂膜15具有小于8m2g的比吸收表面积；在不存在所述基板13的涉及稀有气体的任何预先清洁的情况下，将所述吸气剂膜15沉积在所述基板13上；以及 ■借助于具有能够活化所述吸气剂膜15的温度的热密封循环将所述封装包装18密封在所述基板13上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人丽瑞德公司，其通讯地址为：法国帕莱索；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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