应用材料公司V·D·帕科获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于射频环境的冷却的基板支撑组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115280484B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080098519.1，技术领域涉及：H10P72/72；该发明授权用于射频环境的冷却的基板支撑组件是由V·D·帕科;A·施密特;A·A·努贾伊姆;S·D·普劳蒂;A·加西亚德戈罗多;M·佩雷斯-古斯曼设计研发完成，并于2020-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于射频环境的冷却的基板支撑组件在说明书摘要公布了：本文描述了一种基板支撑组件，包括：设施板；接地板，所述接地板耦合至所述设施板；流体导管，所述流体导管设置在所述基板支撑组件内并设置穿过所述设施板和所述接地板；以及连接器，所述连接器耦合至所述接地板，所述接地板容纳所述流体导管的一部分。所述连接器包括偏置组件和紧固件，所述紧固件设置在形成在所述接地板中的袋部中。
本发明授权用于射频环境的冷却的基板支撑组件在权利要求书中公布了：1.一种基板支撑组件，包括： 主体，所述主体包括： 静电吸盘基底组件，所述静电吸盘基底组件具有被配置为流体耦合至低温冷却器的通道； 设施板，所述设施板设置在所述静电吸盘基底组件下方；以及 接地板，所述接地板耦合至所述设施板的底部表面； 管状构件，所述管状构件具有穿过所述管状构件设置的流体导管，所述管状构件设置穿过所述设施板和所述接地板并且流体耦合至所述静电吸盘基底组件，所述管状构件具有设置在延伸超过所述接地板的底部表面的第一端处的第一端引导件和弹簧密封件，所述第一端引导件围绕所述管状构件设置并且延伸超过所述管状构件的所述第一端；以及 连接器，所述连接器耦合至所述接地板的底部表面，所述连接器容纳所述管状构件的一部分，所述第一端引导件和弹簧密封件设置在所述接地板的所述底部表面下方并且在所述连接器中，所述第一端引导件以限制所述弹簧密封件的轴向压缩的方式接触所述管状构件和所述连接器，所述弹簧密封件提供所述弹簧密封件和所述连接器之间的轴向密封，所述连接器包括偏置组件和紧固件，所述紧固件设置在形成在所述接地板中的袋部中。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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