株式会社斯库林集团中井仁司获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理方法和基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115148641B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210830098.8，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理方法和基板处理装置是由中井仁司;金松泰范设计研发完成，并于2018-06-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理方法和基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种在基板的主面形成有被覆膜的结构中，能够抑制该主面受到污染的基板处理方法和基板处理装置。该基板处理方法，包括：基板保持工序，将具有第一主面和所述第一主面的相反侧的第二主面的基板保持为水平；被覆膜形成工序，通过向所述第一主面供给被覆剂，形成覆盖所述第一主面的升华性的被覆膜；以及被覆膜清洗工序，清洗所述被覆膜的表面。
本发明授权基板处理方法和基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理方法，其中，包括： 基板保持工序，将具有形成有金属图案的第一主面和所述第一主面的相反侧的第二主面的基板保持为水平； 被覆膜形成工序，通过向所述第一主面供给被覆剂，形成覆盖所述第一主面的升华性的被覆膜；以及 被覆膜清洗工序，清洗所述被覆膜的表面， 所述被覆膜形成工序包括固化工序，所述固化工序在向所述第一主面供给所述被覆剂后，通过对所述基板进行加热使所述被覆剂固化来形成所述被覆膜， 所述基板处理方法还包括： 升华工序，在所述被覆膜清洗工序结束后使所述被覆膜升华； 第二主面清洗工序，在所述被覆膜形成工序结束后清洗所述第二主面；以及 保护液供给工序，向所述被覆膜的表面供给保护所述被覆膜的表面的保护液， 所述被覆膜清洗工序在所述第二主面清洗工序结束后开始或者与所述第二主面清洗工序并行执行， 所述保护液供给工序在所述被覆膜清洗工序开始前与所述第二主面清洗工序并行执行。
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