弥费实业(上海)有限公司杨复来获国家专利权
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龙图腾网获悉弥费实业(上海)有限公司申请的专利晶圆盒存储库坐标数据处理方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115131338B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210873536.9,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权晶圆盒存储库坐标数据处理方法及系统是由杨复来;缪峰设计研发完成,并于2022-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆盒存储库坐标数据处理方法及系统在说明书摘要公布了:本发明提供了一种晶圆盒存储库坐标数据处理方法及系统,其中晶圆盒存储库坐标数据处理方法,包括以下步骤:采集晶圆盒存储库中目标阁位对应的目标图像;获取目标图像与目标阁位对应的原始图像之间的对比结果;根据对比结果确定目标阁位对应的坐标修正数据;根据坐标修正数据对目标阁位的坐标数据进行修正。通过晶圆存储库中阁位的新旧图像比对,可以快速获得修正数据,进而以及修正数据进行数据修正,数据处理过程简单,数据准确,以及可以实时地修正坐标数据,保证晶圆盒取放作业的作业精度,保障作业效率和安全,并且能够自动执行,降低人工作业强度。
本发明授权晶圆盒存储库坐标数据处理方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种晶圆盒存储库坐标数据处理方法,其特征在于,包括: 获取取放机构的运动位置,并根据所述运动位置生成采集信号; 根据所述采集信号,采集晶圆盒存储库中目标阁位对应的目标图像,所述目标图像中包含有用于表征晶圆盒取放于所述目标阁位上的位置信息;其中,采集晶圆盒存储库中目标阁位对应的目标图像包括:针对目标阁位上预设的特征区域采集目标图像,所述特征区域包括用于表征所述目标阁位的预设特征的区域; 获取所述目标图像与所述目标阁位对应的原始图像之间的对比结果; 根据所述对比结果确定所述目标阁位对应的坐标修正数据;其中,所述坐标修正数据包括在三维坐标系中的宽度偏移数据、深度偏移数据、高度偏移数据和角度偏移数据; 根据所述坐标修正数据对所述目标阁位的坐标数据进行修正,得到准确反映目标阁位当前位置信息的坐标数据; 将所述目标图像替代所述原始图像以更新原始图像库; 将所述反映目标阁位当前位置信息的坐标数据发送给取放机构,以使所述取放机构根据所述反映目标阁位当前位置信息的坐标数据对晶圆盒执行取放作业。
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