株式会社斯库林集团柏山真人获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理装置及供给阀获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115083954B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210223005.5，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权衬底处理装置及供给阀是由柏山真人设计研发完成，并于2022-03-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底处理装置及供给阀在说明书摘要公布了：本发明涉及一种衬底处理装置及供给阀。供给阀21具备作为开关阀55发挥功能的构成开关阀室65、阀座71、隔膜73及开关驱动部75。在开关阀室65连接着将开关阀室65内的气泡排出的排气流路103。由此，即使在开启及关闭开关阀55时产生气泡，也能通过排气流路103排出开关阀室65内的气泡。因此，能够防止因气泡被供给到衬底上等而造成制品缺陷。
本发明授权衬底处理装置及供给阀在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理装置，其特征在于具备： 喷嘴，对衬底喷出处理液； 供给阀，用于对所述喷嘴供给处理液；及 喷嘴侧配管，将所述喷嘴与所述供给阀的出口相连；且 所述供给阀具备： 流路区块； 开关阀室，形成于所述流路区块； 入口侧流路，形成于所述流路区块，构成为供在入口与所述开关阀室之间流动液体； 出口侧流路，形成于所述流路区块，构成为供在所述开关阀室与所述出口之间流动液体； 开关阀体，配置在所述开关阀室内； 阀座，设置在所述开关阀室与所述出口侧流路的交界，构成为在所述开关阀室内承接所述开关阀体； 开关驱动部，通过将所述开关阀体压抵在所述阀座，而停止处理液从所述开关阀室向所述出口侧流路的流动，另外，通过使压抵的所述开关阀体离开所述阀座，而使处理液从所述开关阀室流向所述出口侧流路；及 排气流路，形成于所述流路区块，与所述开关阀室连接而将所述开关阀室内的气泡排出；且 所述排气流路向下方向延伸并连接于所述开关阀室。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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