ASML荷兰有限公司S·科斯迈科斯获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利用于辐射源的容器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114868082B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080087349.7，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权用于辐射源的容器是由S·科斯迈科斯;R·G·M·兰斯勃根;M·H·A·李德斯;H·G·泰根波什克设计研发完成，并于2020-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于辐射源的容器在说明书摘要公布了：一种用于EUV辐射源的容器16，该容器包括：第一开口30，所述第一开口用于访问容器的内部32；第一访问构件34，所述第一访问构件被构造为允许或防止通过第一开口访问容器的内部；第二开口36，所述第二开口用于访问容器的内部，第二开口被布置于第一访问构件中；和第二访问构件38，所述第二访问构被布置于第一访问构件上并且被构造为允许或防止通过第二开口访问容器的内部。
本发明授权用于辐射源的容器在权利要求书中公布了：1.一种用于EUV辐射源的容器，所述容器包括： 第一开口，所述第一开口用于访问所述容器的内部； 第一访问构件，所述第一访问构件被构造为允许或防止通过所述第一开口访问所述容器的内部； 第二开口，所述第二开口用于访问所述容器的内部，所述第二开口被布置于所述第一访问构件中；和 第二访问构件，所述第二访问构件被布置于所述第一访问构件上，并且被构造为允许或防止通过所述第二开口访问所述容器的内部，其中，所述第一开口被构造为允许访问所述辐射源的第一部件和第二部件，并且允许所述辐射源的所述第一部件和或所述第二部件行进通过所述第一开口，其中，所述第二开口被构造为允许访问所述辐射源的所述第二部件，并且允许所述辐射源的所述第二部件行进通过所述第二开口。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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