上海交通大学王续博获国家专利权
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龙图腾网获悉上海交通大学申请的专利具有短波导结构的超声换能器及制造方法、超声检测装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114864806B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210623023.2,技术领域涉及:H10N30/50;该发明授权具有短波导结构的超声换能器及制造方法、超声检测装置是由王续博;刘悦设计研发完成,并于2022-06-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有短波导结构的超声换能器及制造方法、超声检测装置在说明书摘要公布了:本申请公开一种具有短波导结构的超声换能器及其制造方法和超声检测装置,所述制造方法包括:提供第一基底,包括第一支撑层和形成于所述第一支撑层表面的第一器件层;图形化所述第一器件层,形成贯穿所述第一器件层的开口;提供第二基底,包括第二支撑层、位于所述第二支撑层上的第二器件层;将所述第二器件层朝向所述第一基底,键合于所述第一器件层表面;去除所述第二支撑层,在所述第二器件层背离所述第一器件层的一侧上形成压电传感单元,所述压电传感单元位置与所述开口位置相对;去除所述第一支撑层,暴露出所述开口,所述开口作为波导。上述制造方法能够形成具有短波导结构,适用于柔性超声换能器的大规模制造,提高超声换能器的性能。
本发明授权具有短波导结构的超声换能器及制造方法、超声检测装置在权利要求书中公布了:1.一种具有短波导结构的超声换能器制造方法,其特征在于,包括: 提供第一基底,所述第一基底包括第一支撑层和形成于所述第一支撑层表面的第一器件层; 图形化所述第一器件层,形成贯穿所述第一器件层的开口; 提供第二基底,所述第二基底包括第二支撑层、位于所述第二支撑层上的第二器件层; 将所述第二器件层朝向所述第一基底,键合于所述第一器件层表面; 去除所述第二支撑层,在所述第二器件层背离所述第一器件层的一侧上形成压电传感单元,所述压电传感单元位置与所述开口位置相对; 去除所述第一支撑层,暴露出所述开口,所述开口作为波导; 在所述开口内填充波导介质。
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