华虹半导体(无锡)有限公司范炜盛获国家专利权
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龙图腾网获悉华虹半导体(无锡)有限公司申请的专利一种静电保护GGNMOS结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114497030B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210096916.6,技术领域涉及:H10D89/60;该发明授权一种静电保护GGNMOS结构是由范炜盛设计研发完成,并于2022-01-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种静电保护GGNMOS结构在说明书摘要公布了:本申请公开了一种静电保护GGNMOS结构,属于半导体器件及制造领域。基于SOI工艺,该结构引入一圈N型阱,并在N型阱中形成P型重掺杂区和N型重掺杂区交替的块状掺杂区,N型阱处的P型重掺杂区、N型阱、P型阱与源端处的N型重掺杂区形成SCR结构,打开泄放电流;N型阱处的P型重掺杂区、N型重掺杂区与漏端的N型重掺杂区短接形成阳极,源端的N型重掺杂区与栅端短接形成阴极,SCR结构用于ESD电压加到阳极时打开泄放电流,增加了额外的ESD电流泄放通道,提高了SOIGGNMOS的ESD防护能力。
本发明授权一种静电保护GGNMOS结构在权利要求书中公布了:1.一种静电保护GGNMOS结构,其特征在于,该结构至少包括: 硅衬底,所述硅衬底通过SOI工艺形成有埋氧层;通过STI工艺定义出的源端,在所述埋氧层处形成有P型阱;形成于所述P型阱外围处的一圈N型阱,所述N型阱处形成有P型重掺杂区和N型重掺杂区的交替块状重掺杂区;形成于所述P型阱之间的N型重掺杂区,所述P型阱之间形成有间隔的栅端和漏端; 所述N型阱处的P型重掺杂区、所述N型重掺杂区与所述漏端的N型重掺杂区短接形成阳极,所述源端的N型重掺杂区与栅端短接形成阴极;所述N型阱处的P型重掺杂区、所述N型阱、所述P型阱与所述源端处的N型重掺杂区形成SCR结构,所述SCR结构用于ESD电压加到所述阳极时打开泄放电流。
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