迈为技术(珠海)有限公司马林获国家专利权
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龙图腾网获悉迈为技术(珠海)有限公司申请的专利一种柔性吸片装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223859650U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520200867.5，技术领域涉及：H10P72/78；该实用新型一种柔性吸片装置是由马林;李云起;陈超;马运东;毛胜;王正根;陈万群设计研发完成，并于2025-02-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种柔性吸片装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种柔性吸片装置，涉及半导体制造领域，该柔性吸片装置包括固定座以及吸附部件，其中固定座的下侧设置有柔性连接件，吸附部件通过柔性连接件吊装于固定座的下方，吸附部件在外力作用下，柔性连接件允许吸附部件相对固定座发生倾斜，实现吸附部件的水平调节。这种倾斜能够实现吸附部件在水平方向上的微调，使得吸附部件可根据晶圆的表面情况，吸附部件仅需通过部分自重与晶圆发生接触，无需额外增加压力，并在接触到晶圆表面的过程中对其水平位置进行调节，实现吸附部件与晶圆表面的平稳接触，即可实现陶瓷吸盘和晶圆的完全贴合，防止晶圆表面局部受压过大为出现形变甚至碎裂等的情况。
本实用新型一种柔性吸片装置在权利要求书中公布了：1.一种柔性吸片装置，其特征在于，包括： 固定座10，所述固定座10的下侧设置有柔性连接件20； 吸附部件30，所述吸附部件30通过所述柔性连接件20吊装于所述固定座10的下方，所述吸附部件30在外力作用下，所述柔性连接件20允许所述吸附部件30相对所述固定座10发生倾斜，实现所述吸附部件30的水平调节。
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