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亦亨电子(上海)有限公司孙晓光获国家专利权

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龙图腾网获悉亦亨电子(上海)有限公司申请的专利一种用于干法刻蚀的硅片夹具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223859646U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520426050.X,技术领域涉及:H10P72/76;该实用新型一种用于干法刻蚀的硅片夹具是由孙晓光;贾鹏宽;杨晓锋;王杰;杨志翔设计研发完成,并于2025-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于干法刻蚀的硅片夹具在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于干法刻蚀的硅片夹具,包括底座,所述底座上设有滑槽,所述滑槽上旋转设有双头螺杆,所述双头螺杆上螺纹连接有夹块,所述夹块滑动设于滑槽上,所述双头螺杆上套设有弹性保护件,所述夹块上设有缓冲件。本实用新型属于夹具技术领域,具体是指一种用于干法刻蚀的硅片夹具。

本实用新型一种用于干法刻蚀的硅片夹具在权利要求书中公布了:1.一种用于干法刻蚀的硅片夹具,包括底座1,其特征在于:所述底座1上设有滑槽2,所述滑槽2上旋转设有双头螺杆3,所述双头螺杆3上螺纹连接有夹块4,所述夹块4滑动设于滑槽2上,所述双头螺杆3上套设有弹性保护件5,所述夹块4上设有缓冲件6。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人亦亨电子(上海)有限公司,其通讯地址为:201613 上海市松江区中辰路225号第14幢一楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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