宁波芯丰精密科技有限公司万先进获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波芯丰精密科技有限公司申请的专利晶圆对接检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223859640U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520160339.1，技术领域涉及：H10P72/50；该实用新型晶圆对接检测设备是由万先进;朱松;谢亚楠;锁志勇;魏兴亮;谢烨超;边逸军设计研发完成，并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆对接检测设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体公开了晶圆对接检测设备。该设备包括晶圆环切机台和晶圆检测机台；晶圆环切机台包括对接定位板，对接定位板具有两个插接孔和至少两个对接定位件；晶圆检测机台包括检测机台主体、锁紧单元、固定侧板和两个对位销钉，固定侧板通过锁紧单元可拆卸活动连接检测机台主体，且固定侧板通过锁紧单元选择性锁定于检测机台主体，固定侧板可拆卸连接于对接定位板，固定侧板上设有对接定位孔和两个贯通孔，对接定位孔与对接定位件数量相同且一一对应，对接定位孔与对接定位件间隙配合，对位销钉能穿过贯通孔并插接于插接孔。该设备用以实现晶圆环切机台与晶圆检测机台的牢固对接，提升对位精度和密封性。
本实用新型晶圆对接检测设备在权利要求书中公布了：1.晶圆对接检测设备，其特征在于，包括： 晶圆环切机台1，包括对接定位板12，所述对接定位板12具有两个插接孔和至少两个对接定位件13； 晶圆检测机台2，包括检测机台主体、锁紧单元、固定侧板2313和两个对位销钉2314，所述固定侧板2313通过所述锁紧单元可拆卸活动连接所述检测机台主体，使所述固定侧板2313能相对所述检测机台主体在竖直平面内移动，且所述固定侧板2313通过所述锁紧单元选择性锁定于所述检测机台主体，所述固定侧板2313可拆卸连接于所述对接定位板12，所述固定侧板2313上设有对接定位孔和两个贯通孔，所述对接定位孔与所述对接定位件13数量相同且一一对应，且所述对接定位孔与所述对接定位件13间隙配合，所述对位销钉2314与所述插接孔一一对应且能穿过所述贯通孔并插接于所述插接孔内。
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