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龙图腾网获悉昆山灵科传感技术有限公司申请的专利一种测压设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223859619U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520159928.8，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种测压设备是由高振宁;孙飞;肖滨设计研发完成，并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种测压设备在说明书摘要公布了：本实用新型的实施例公开了一种测压设备，用于与吸附设备连接，吸附设备具有用于承载晶圆的承片台，承片台上开设多个吸附孔。测压设备包括支撑座和检测装置。支撑座有第一面和第二面，第一面与承片台贴合，支撑座上开设多个贯通的测压孔。测压孔与吸附孔相连通，在支撑座的厚度方向上，相连通的测压孔与吸附孔的投影重叠。检测装置与测压孔一一对应，检测装置包括基板和测压芯片，基板有第三面和第四面以及开设有贯通第三面和第四面的通气孔，测压芯片与通气孔相对而设，相对应的通气孔和测压孔相连通。本申请通过将吸附孔的气压的测量点移动到吸附孔的端口位置，缩短了测量路径，避免了因管路传输而引入的压力损耗问题。

本实用新型一种测压设备在权利要求书中公布了：1.一种测压设备，其特征在于，用于与吸附设备连接，吸附设备具有用于承载晶圆的承片台，承片台上开设有多个吸附孔，所述测压设备包括： 支撑座10，具有相对而设的第一面11和第二面12，所述第一面11用于与吸附设备的承片台贴合，所述支撑座10上开设有多个测压孔13，所述测压孔13贯通所述第一面11和所述第二面12，多个所述测压孔13用于与不同的吸附孔相连通，且在所述测压设备与吸附设备连接后，在支撑座10的厚度方向上，相连通的所述测压孔13与所述吸附孔的投影重叠； 多个检测装置20，所述多个检测装置20与所述多个测压孔13一一对应，所述检测装置20包括基板21和测压芯片22，所述基板21具有相对而设的第三面211和第四面212，所述基板21上开设有贯通所述第三面211和所述第四面212的通气孔213，所述第三面211与所述第二面12相向而设，所述测压芯片22与所述通气孔213的端口相对而设，相对应的所述通气孔213和所述测压孔13相连通。

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