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苏州冠韵威电子技术有限公司王艳获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州冠韵威电子技术有限公司申请的专利一种化学蚀刻用治具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223859615U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423144669.6,技术领域涉及:H10P50/64;该实用新型一种化学蚀刻用治具是由王艳;王佳恒;付一敏设计研发完成,并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

一种化学蚀刻用治具在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种化学蚀刻用治具。化学蚀刻用治具包括蚀刻发生容器,其内部具有用于盛放蚀刻液以及可供进行蚀刻的工作腔室,所述蚀刻发生容器上设置有与所述工作腔室相导通的排气口;蚀刻夹具,设置在所述工作腔室内,所述蚀刻夹具用于承载并固定硅片。提拉机构,所述提拉机构的一部分设置在所述工作腔室内,该一部分与所述蚀刻夹具固定连接,所述提拉机构的另一部分设置在所述工作腔室外部,以及,所述提拉机构与所述蚀刻发生容器活动配合,所述提拉机构能够被反复提拉,并带动所述蚀刻夹具于所述工作腔室内的刻蚀液内,沿所述工作腔室的纵向反复上下活动。

本实用新型一种化学蚀刻用治具在权利要求书中公布了:1.一种化学蚀刻用治具,其特征在于,包括: 蚀刻发生容器,其内部具有用于盛放蚀刻液以及可供进行蚀刻的工作腔室,所述蚀刻发生容器上设置有与所述工作腔室相导通的排气口; 蚀刻夹具,设置在所述工作腔室内,所述蚀刻夹具用于承载并固定硅片; 提拉机构,所述提拉机构的一部分设置在所述工作腔室内,该一部分与所述蚀刻夹具固定连接,所述提拉机构的另一部分设置在所述工作腔室外部,以及,所述提拉机构与所述蚀刻发生容器活动配合,所述提拉机构能够被反复提拉,并带动所述蚀刻夹具于所述工作腔室内的刻蚀液内,沿所述工作腔室的纵向反复上下活动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州冠韵威电子技术有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市工业园区宏业路158号联发工业园8号厂房;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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