天津中科晶禾电子科技有限责任公司冯策获国家专利权
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龙图腾网获悉天津中科晶禾电子科技有限责任公司申请的专利平面型静电约束装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223858133U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520337673.X，技术领域涉及：H01J37/147；该实用新型平面型静电约束装置是由冯策;宋伟健;母凤文;刘福超;郭超;谭向虎设计研发完成，并于2025-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本平面型静电约束装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体材料加工设备技术领域，具体公开了平面型静电约束装置。该装置包括发射源以及沿发射方向依次间隔并列的接地屏蔽板、静电约束板和电荷接收板；电荷接收板具有电荷接收平面，发射方向垂直于电荷接收平面；接地屏蔽板贯通有若干第一通孔；静电约束板贯通有若干第二通孔，静电约束板被施加有偏置电压；发射源用于沿发射方向发射待测束流，以使待测束流依次穿过第一通孔和第二通孔后，冲击到电荷接收平面；偏置电压所形成的静电场将电荷接收平面上冲击产生的二次电子返回至电荷接收平面上。该装置利用偏置电压所形成的静电场进行约束，以减少二次电子逸出对测量结果造成的影响，抑制待测束流测量结果的偏差。
本实用新型平面型静电约束装置在权利要求书中公布了：1.平面型静电约束装置，用于测试待测束流900，其特征在于，所述平面型静电约束装置包括发射源以及沿发射方向依次间隔并列的接地屏蔽板400、静电约束板700和电荷接收板800；所述电荷接收板800具有电荷接收平面，所述发射方向垂直于所述电荷接收平面；接地屏蔽板400贯通有若干第一通孔401；所述静电约束板700贯通有若干第二通孔701，所述静电约束板700被施加有偏置电压；所述发射源用于沿所述发射方向发射所述待测束流900，以使所述待测束流900依次穿过所述第一通孔401和所述第二通孔701后，冲击到所述电荷接收平面；所述偏置电压所形成的静电场将所述电荷接收平面上冲击产生的二次电子返回至所述电荷接收平面上。
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