托托科技(苏州)有限公司严振中获国家专利权
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龙图腾网获悉托托科技(苏州)有限公司申请的专利一种混合曝光系统和光刻设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223857582U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520528220.5，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种混合曝光系统和光刻设备是由严振中;吴阳设计研发完成，并于2025-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种混合曝光系统和光刻设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及光刻技术领域，具体是一种混合曝光系统和光刻设备，包括：第一曝光装置，包括真空腔室，以及位于真空腔室中的电子束发射源、电子光路组件和扫描系统，电子束发射源出射的电子束经电子光路组件和扫描系统后能够投射至真空腔室的第一照射区域；第二曝光装置，包括光学曝光光源和光学光路组件，光学曝光光源出射的光束经光学光路组件后能够投射至真空腔室的第二照射区域；设置于真空腔室的运动台，具有样品承载位；与运动台传动连接的驱动装置，能够驱动运动台移动以使样品承载位位于第一照射区域或第二照射区域。本申请能够同时兼顾高精度和高效率需求的光刻任务。
本实用新型一种混合曝光系统和光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种混合曝光系统，其特征在于，包括： 第一曝光装置10，包括真空腔室110，以及位于所述真空腔室110中的电子束发射源120、电子光路组件130和扫描系统140，所述电子束发射源120出射的电子束50经所述电子光路组件130和所述扫描系统140后能够投射至所述真空腔室110的第一照射区域150； 第二曝光装置20，包括光学曝光光源210和光学光路组件220，所述光学曝光光源210出射的光束经所述光学光路组件220后能够投射至所述真空腔室110的第二照射区域160； 设置于所述真空腔室110的运动台30，具有样品承载位； 与所述运动台30传动连接的驱动装置，能够驱动所述运动台30移动以使所述样品承载位位于所述第一照射区域150或所述第二照射区域160。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人托托科技(苏州)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市工业园区新平街388号22幢5层08单元；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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