新毅东(北京)科技有限公司张琪获国家专利权
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龙图腾网获悉新毅东(北京)科技有限公司申请的专利一种灯室散热结构及光刻设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223857580U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520516015.7，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种灯室散热结构及光刻设备是由张琪;符友银;王鑫;曹洋设计研发完成，并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种灯室散热结构及光刻设备在说明书摘要公布了：一种灯室散热结构及光刻设备，涉及光刻设备技术领域。该灯室散热结构包括光源、灯室主体以及分别设置于灯室主体相对两端的进气组件和排气组件；灯室主体包括由相对设置的上灯罩和下灯罩围合形成的容置腔，光源设置于容置腔内；进气组件包括与灯室主体连通的进气孔，灯室主体通过进气孔与外部连通；排气组件包括与灯室主体相连通的排风通道，灯室主体通过排风通道与外部连通；空气经进气孔进入灯室主体后，依次经上灯罩和下灯罩由排风通道的出口排出。上述灯室散热结构能够提高灯室内的散热效果，进而保证了光源的温度稳定性和芯片制造的良率。
本实用新型一种灯室散热结构及光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种灯室散热结构，其特征在于，包括光源110、灯室主体120以及分别设置于所述灯室主体120相对两端的进气组件130和排气组件140；所述灯室主体120包括由相对设置的上灯罩121和下灯罩122围合形成的容置腔，所述光源110设置于所述容置腔内；所述进气组件130包括与所述灯室主体120连通的进气孔131，所述灯室主体120通过所述进气孔131与外部连通；所述排气组件140包括与所述灯室主体120相连通的排风通道141，所述灯室主体120通过所述排风通道141与外部连通；空气经所述进气孔131进入所述灯室主体120后，依次经所述上灯罩121和所述下灯罩122由所述排风通道141的出口排出。
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