北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司张盼获国家专利权
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龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利一种导流板及涂覆设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223857578U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520456502.9，技术领域涉及：G03F7/16；该实用新型一种导流板及涂覆设备是由张盼;贾会静;车鹏达;郑宁;王淼设计研发完成，并于2025-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种导流板及涂覆设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种导流板，用于半导体设备，包括：导流板主体，由中空的环状板体围绕而成，包含内侧与外侧；以及防反溅部，设置在所述导流板主体的内侧，包括呈阵列分布的多个柱体凸起，所述柱体凸起的底端与所述导流板主体的内侧连接。本申请还提供一种包括所述导流板的涂覆设备。本申请提供的导流板和涂覆设备能够避免涂胶及显影工艺中，液体反溅至晶圆表面，造成晶圆缺陷。
本实用新型一种导流板及涂覆设备在权利要求书中公布了：1.一种导流板，用于半导体设备，其特征在于，包括： 导流板主体，由中空的环状板体围绕而成，包含内侧与外侧；以及 防反溅部，设置在所述导流板主体的内侧，包括呈阵列分布的多个柱体凸起，所述柱体凸起的底端与所述导流板主体的内侧连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道18号9幢一层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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