江苏优众微纳半导体科技有限公司陈敏敏获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏优众微纳半导体科技有限公司申请的专利一种纳米压印用掩模张力装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223857575U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520584741.2，技术领域涉及：G03F7/00；该实用新型一种纳米压印用掩模张力装置是由陈敏敏;居法银设计研发完成，并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种纳米压印用掩模张力装置在说明书摘要公布了：本实用涉及纳米压印领域，尤其公开了一种纳米压印用掩模张力装置，包括操作台，所述操作台顶部设置有张力机构，所述张力机构包括封板，所述封板一侧固定设置有第一夹板，所述封板另一侧固定设置有所述行轨组，所述行轨组上活动连接有第二夹板，所述第二夹板侧壁上均匀设置有多个弹性件，多个所述弹性件的一端均固定连接在固定板的侧壁；通过张力机构，在辊压过程中掩模的张力会改变，通过弹性件的弹性拉伸将力均匀分布于第二夹板，可以确保掩模在压印过程中保持平整和稳定，从而提高压印的精度和一致性，得到更高质量的压印产品，改进的掩模张力装置会减少调整和操作时间，提高压印过程的速度，从而增加生产效率并降低生产成本。
本实用新型一种纳米压印用掩模张力装置在权利要求书中公布了：1.一种纳米压印用掩模张力装置，其特征在于，包括： 操作台1，所述操作台1顶部设置有张力机构2，所述张力机构2包括封板21，所述封板21一侧固定设置有第一夹板22，所述封板21另一侧固定设置有行轨组23，所述行轨组23上活动连接有第二夹板24，所述第二夹板24侧壁上均匀设置有多个弹性件26，多个所述弹性件26的一端均固定连接在固定板25的侧壁，所述固定板25的侧壁与所述封板21固定连接； 升降机构3，所述升降机构3设置在所述张力机构2底部。
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