天津中科晶禾电子科技有限责任公司冯策获国家专利权
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龙图腾网获悉天津中科晶禾电子科技有限责任公司申请的专利海尔贝克阵列磁约束束流测量装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223857413U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520339268.1，技术领域涉及：G01T1/29；该实用新型海尔贝克阵列磁约束束流测量装置是由冯策;宋伟健;母凤文;刘福超;郭超;谭向虎设计研发完成，并于2025-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本海尔贝克阵列磁约束束流测量装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体材料加工设备技术领域，具体公开了海尔贝克阵列磁约束束流测量装置。该装置包括接收杯、接地屏蔽件、环形海尔贝克阵列、发射源和至少一个绝缘件；接收杯具有呈圆柱形的容纳腔；接地屏蔽件贯通有避让孔，避让孔与容纳腔相连通；绝缘件夹设于接收杯与接地屏蔽件之间；环形海尔贝克阵列包括N个永磁体，所有的永磁体绕容纳腔的轴线均布，每两个相邻的永磁体之间的充磁角度为720N度，N为大于等于四的整数；发射源用于沿容纳腔的轴线发射待测束流，使待测束流穿过避让孔后，冲击到容纳腔腔底。该装置利用环形海尔贝克阵列磁约束待测束流，以缩短二次电子的行程，实现对接收杯的缩短，使整体结构更加紧凑且便于布局。
本实用新型海尔贝克阵列磁约束束流测量装置在权利要求书中公布了：1.海尔贝克阵列磁约束束流测量装置，用于检测待测束流流量，其特征在于，所述海尔贝克阵列磁约束束流测量装置包括： 接收杯100，具有呈圆柱形的容纳腔； 接地屏蔽件400，贯通有避让孔，所述避让孔与所述容纳腔相连通； 至少一个绝缘件300，夹设于所述接收杯100与所述接地屏蔽件400之间； 环形海尔贝克阵列，包括N个永磁体200，所有的所述永磁体200绕所述容纳腔的轴线均布，每两个相邻的所述永磁体200之间的充磁角度为720N度，其中，N为大于等于四的整数； 发射源，用于沿所述容纳腔的轴线发射所述待测束流，以使所述待测束流穿过所述避让孔后，冲击到所述容纳腔的腔底。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人天津中科晶禾电子科技有限责任公司，其通讯地址为：300451 天津市滨海新区塘沽海洋科技园新北路4668号创新创业园22-A号厂房二层C角；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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