杭州长川科技股份有限公司徐开涛获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州长川科技股份有限公司申请的专利旋转装置及晶圆检测系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223857240U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423163274.0，技术领域涉及：G01R1/04；该实用新型旋转装置及晶圆检测系统是由徐开涛;南彦东;姚建强;赵树理设计研发完成，并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本旋转装置及晶圆检测系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆检测技术领域，具体公开了一种旋转装置及晶圆检测系统，该旋转装置包括底座和转动件，其中，转动件能绕转轴线可转动地设于底座，且能沿转轴线的延伸方向靠近或远离底座；其中，转动件远离底座的状态下，转动件与底座之间具有间隙；转动件靠近底座的状态下，转动件抵接底座；其中，转动件抵接底座的状态下，二者之间形成气体腔，气体腔与外界气源连通。本实用新型中的转动件相对底座的转动过程，能有效避免二者之间出现磨损，转动件和底座之间的转动角度的精准性得以保证，且二者之间的倾斜度不易发生变化，有利于保证定位精度。
本实用新型旋转装置及晶圆检测系统在权利要求书中公布了：1.旋转装置，其特征在于，包括： 底座100； 转动件200，所述转动件200能绕转轴线可转动地设于所述底座100，且能沿所述转轴线的延伸方向靠近或远离所述底座100；所述转动件200远离所述底座100的状态下，所述转动件200与所述底座100之间具有间隙；所述转动件200靠近所述底座100的状态下，所述转动件200抵接所述底座100； 所述转动件200抵接所述底座100的状态下，二者之间形成气体腔，所述气体腔与外界气源连通。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州长川科技股份有限公司，其通讯地址为：310056 浙江省杭州市滨江区聚才路410号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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