南京群选智能装备有限公司曾定明获国家专利权
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龙图腾网获悉南京群选智能装备有限公司申请的专利一种自校准式半导体真空计集成装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223856627U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520643544.3,技术领域涉及:G01L21/00;该实用新型一种自校准式半导体真空计集成装置是由曾定明;朱先正;李堃设计研发完成,并于2025-04-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种自校准式半导体真空计集成装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种自校准式半导体真空计集成装置,涉及真空计技术领域,包括真空腔室以及设置于真空腔室侧面的真空计本体,快接组件包括安装于真空计本体一端的安装座,安装座的顶部固定连接有第一套管,第一套管的侧面固定连接有安装架,安装架的侧面设置有连接杆,连接杆的一端转动连接有柔性堵块,通过安装于真空计本体侧面的安装座,从而能够为第一套管和安装架提供支撑,通过设置安装架,从而能够为连接杆和柔性堵块提供支撑,通过转动连接于连接杆一端的柔性堵块,从而能够将真空计本体和真空腔室快速卡接,有效提高卡接效率,同时能够在使用过程中对设置于安装架内壁的传输管道进行辅助固定,确保传输稳定性。
本实用新型一种自校准式半导体真空计集成装置在权利要求书中公布了:1.一种自校准式半导体真空计集成装置,其特征在于,包括: 真空腔室1以及设置于真空腔室1侧面的真空计本体11; 快接组件2,所述快接组件2包括安装于真空计本体11一端的安装座21,所述安装座21的顶部固定连接有第一套管22,所述第一套管22的侧面固定连接有安装架23,所述安装架23的侧面设置有连接杆26,所述连接杆26的一端转动连接有柔性堵块28; 密封组件3,所述密封组件3包括安装于安装座21侧面的密封板31,所述密封板31的内壁设置有密封球32。
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