杭州睿昇半导体科技有限公司王杨波获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州睿昇半导体科技有限公司申请的专利一种石英舟晶圆倾斜检测治具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223856461U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520537928.7,技术领域涉及:G01C9/00;该实用新型一种石英舟晶圆倾斜检测治具是由王杨波;耿健;郜维冬;徐杨阳;于博;祝郑庆;胡权明设计研发完成,并于2025-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种石英舟晶圆倾斜检测治具在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种石英舟晶圆倾斜检测治具,属于检测治具领域,包括:用于和石英舟可拆卸连接的安装架;与安装架连接的定位杆;移动杆,移动杆的一端和定位杆移动锁紧连接,移动杆的另一端用于和晶圆抵触;用于检测石英舟晶圆倾斜的测量组件。安装架包括:用于和石英舟可拆卸连接的侧板,侧板的一端和定位杆连接;与侧板的另一端的一侧连接的底板。安装架还包括与侧板的一端的一侧连接的连接块,连接块用于和石英舟配合。安装架还包括与侧板的另一端的另一侧连接的支撑台。本实用新型的技术效果在于它便于检测相关石英舟的卡槽是否符合晶圆的承载标准。
本实用新型一种石英舟晶圆倾斜检测治具在权利要求书中公布了:1.一种石英舟晶圆倾斜检测治具,其特征在于,包括: 用于和所述石英舟5可拆卸连接的安装架1; 与所述安装架1连接的定位杆2; 移动杆3,所述移动杆3的一端和所述定位杆2移动锁紧连接,所述移动杆3的另一端用于和所述晶圆6抵触; 用于检测所述石英舟5晶圆6倾斜的测量组件。
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