无锡卓海科技股份有限公司苏恒中获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡卓海科技股份有限公司申请的专利一种接触式表面形貌测量装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223856394U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520585293.8，技术领域涉及：G01B7/28；该实用新型一种接触式表面形貌测量装置是由苏恒中;相宇阳;陈剑设计研发完成，并于2025-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种接触式表面形貌测量装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种接触式表面形貌测量装置，该装置包括测试台、测量模块和上位机。测量模块包括探针、施压组件、电容传感器和数据处理电路。探针与施压组件连接，探针的针头与测试台的放置平面垂直设置，施压组件为探针提供压向放置平面的压力，使探针的针头保持与待测晶圆的表面接触；电容传感器包括动极板和静极板；动极板与探针连接，动极板能随着探针沿针头延伸方向，相对于静极板运动；数据处理电路分别与动极板和静极板连接，数据处理电路能够根据动极板与静极板之间的电容值，生成数字量采样数据。上位机与数据处理电路连接，根据数字量采样数据还原待测晶圆的表面形貌，实现了利用电容传感器对晶圆的表面形貌的测量，提高了测量准确度。
本实用新型一种接触式表面形貌测量装置在权利要求书中公布了：1.一种接触式表面形貌测量装置，其特征在于，包括：测试台、测量模块和上位机； 所述测试台用于放置待测晶圆； 所述测量模块包括探针、施压组件、电容传感器和数据处理电路；所述探针与所述施压组件机械连接，所述探针的针头与所述测试台的放置平面垂直设置，所述施压组件为所述探针提供压向所述放置平面的压力，使所述探针的针头保持与所述待测晶圆的表面接触；所述电容传感器包括动极板和静极板；所述动极板与所述探针机械连接，所述动极板能随着所述探针沿其针头延伸方向的运动行程，相对于所述静极板对应运动；所述数据处理电路与所述电容传感器电连接，所述数据处理电路能够根据所述电容传感器的电容值，生成数字量采样数据； 所述上位机与所述数据处理电路通信连接，根据所述数字量采样数据还原所述待测晶圆的表面形貌。
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