无锡卓海科技股份有限公司苏恒中获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡卓海科技股份有限公司申请的专利一种接触式表面形貌测量装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223856393U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520564813.7，技术领域涉及：G01B7/28；该实用新型一种接触式表面形貌测量装置是由苏恒中;相宇阳;陈剑设计研发完成，并于2025-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种接触式表面形貌测量装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种接触式表面形貌测量装置，该装置包括测试台和测量模块。在测量模块中，探针与施压组件机械连接，探针的针头与测试台的放置平面垂直设置，施压组件为探针提供压向放置平面的压力，使探针的针头与待测晶圆的表面保持接触；电容传感器与探针机械连接，电容传感器能够对探针在第一方向上的运动位移进行采样，其中，第一方向为垂直于放置平面的方向；压力控制单元分别与电容传感器和施压组件连接，压力控制单元根据运动位移的采样结果，对应调整施压组件为探针提供的压力，实现了对探针压力的动态调整，使得探针压力与其运动位移相适应，防止因被测表面凸起造成的器件损坏，降低了探针划伤被测表面的风险。
本实用新型一种接触式表面形貌测量装置在权利要求书中公布了：1.一种接触式表面形貌测量装置，其特征在于，包括：测试台和测量模块； 所述测试台用于放置待测晶圆； 所述测量模块包括探针、施压组件、电容传感器和压力控制单元；所述探针与所述施压组件机械连接，所述探针的针头与所述测试台的放置平面垂直设置，所述施压组件为所述探针提供压向所述放置平面的压力，使所述探针的针头与所述待测晶圆的表面保持接触；所述电容传感器与所述探针机械连接，所述电容传感器能够对所述探针在第一方向上的运动位移进行采样，其中，所述第一方向为垂直于所述放置平面的方向；所述压力控制单元分别与所述电容传感器和所述施压组件电连接，所述压力控制单元根据所述运动位移的采样结果，对应调整所述施压组件为所述探针提供的压力。
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