致和半导体设备(江苏)有限公司周益斌获国家专利权
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龙图腾网获悉致和半导体设备(江苏)有限公司申请的专利一种半导体含氟废气管道密封连接结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223855101U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520600413.7，技术领域涉及：F16L23/16；该实用新型一种半导体含氟废气管道密封连接结构是由周益斌;王成鹏;王丹设计研发完成，并于2025-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体含氟废气管道密封连接结构在说明书摘要公布了：本实用新型是半导体含氟废气管道密封连接结构，其结构是风管本体端部设凸起的翻边，风管本体内壁及翻边外侧涂覆ETFE涂层或FEP涂层，两风管本体端部翻边接触对齐，全氟醚垫片套设在两风管本体接触对齐的翻边外侧，法兰包括第一、第二法兰片，第一、第二法兰片相互连接在全氟醚垫片外侧且与风管本体外壁紧密配合，卡箍紧密卡接在第一、第二法兰片外侧。ETFEFEP涂层的涂覆可实现耐腐蚀性，法兰与两风管本体连接处的翻边形成活动连接，并在两者之间加入全氟醚垫片，利用材料弹性实现初始密封，全氟醚垫片耐腐蚀性极佳，适用于强酸强碱环境，可延长管道使用寿命。最终卡箍锁紧使连接处具备可调节性，便于现场快速拆装调整。
本实用新型一种半导体含氟废气管道密封连接结构在权利要求书中公布了：1.一种半导体含氟废气管道密封连接结构，其特征在于，包括设置在两风管本体1端部连接处的法兰、卡箍3和全氟醚垫片4，其中风管本体1端部设凸起的翻边11，风管本体1内壁及翻边11外侧涂覆ETFE涂层或FEP涂层，两风管本体1端部翻边11接触对齐，全氟醚垫片4套设在两风管本体1接触对齐的翻边11外侧，法兰包括第一法兰片21和第二法兰片22，第一法兰片21和第二法兰片22相互连接在全氟醚垫片4外侧且与风管本体1外壁紧密配合，卡箍3紧密卡接在第一法兰片21和第二法兰片22外侧。
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