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达波科技(上海)有限公司朱霄获国家专利权

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龙图腾网获悉达波科技(上海)有限公司申请的专利一种晶圆夹持翻转机构及其控制方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120955031B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511484917.8,技术领域涉及:H10P72/76;该发明授权一种晶圆夹持翻转机构及其控制方法是由朱霄;薛成龙;杨朋辉;李昕;国洪晨;华千慧;王奇设计研发完成,并于2025-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆夹持翻转机构及其控制方法在说明书摘要公布了:本申请公开了一种晶圆夹持翻转机构及其控制方法,涉及晶圆夹具技术领域,晶圆夹持翻转机构包括操作部、安装件、定位件以及带动定位件移动的驱动件,定位件设有夹持孔,夹持孔设有夹持件,定位件设置于安装件的安装孔;在夹持阶段,定位件移动至夹持位置,定位件部分露出安装件的外轮廓使定位件套设晶圆,夹持件动作夹持晶圆;在翻转阶段,翻转定位件以使晶圆翻面;在放料阶段,定位件至少部分露出安装件的外轮廓,使夹持孔与晶圆的放置位置配合,夹持件动作释放晶圆。本申请提供了一种晶圆夹持翻转机构及其控制方法,以解决现有的晶圆夹持翻转机构对晶圆所在容置空间适配性差,以及夹持翻转过程中因定位精度不足导致晶圆发生偏转的技术问题。

本发明授权一种晶圆夹持翻转机构及其控制方法在权利要求书中公布了:1.一种晶圆夹持翻转机构,其特征在于,包括操作部以及与所述操作部连接的夹持部; 所述夹持部包括安装件、驱动件以及定位件,所述定位件设有夹持孔,所述夹持孔内设有用于夹持晶圆的多个夹持件,多个所述夹持件沿所述夹持孔的周向依次间隔设置,所述安装件设有安装孔,所述定位件设置于所述安装孔内,且能够沿所述安装孔的轴线移动,所述驱动件用于带动所述定位件移动; 所述定位件具有用于取放所述晶圆的工作状态,所述工作状态包括: 在夹持阶段,所述定位件移动至夹持位置,所述定位件至少部分露出所述安装件的外轮廓,使所述定位件套设所述晶圆,多个所述夹持件动作夹持所述晶圆; 在翻转阶段,多个所述夹持件夹持所述晶圆,翻转所述定位件以使所述晶圆翻面; 在放料阶段,所述定位件移动,所述定位件至少部分露出所述安装件的外轮廓,使所述夹持孔与所述晶圆的放置位置配合,多个所述夹持件动作释放所述晶圆; 所述定位件能够相对所述安装件转动,所述晶圆夹持翻转机构还包括用于驱动所述定位件旋转的转动件,所述转动件设置于所述安装孔且能够沿所述安装孔的轴线移动,所述驱动件通过所述转动件带动所述定位件移动,在所述翻转阶段,所述定位件移动至翻转位置,所述转动件驱动所述定位件绕垂直于所述安装孔的轴线的径向轴线转动,以使所述晶圆翻面。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人达波科技(上海)有限公司,其通讯地址为:201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区江山路3699号5幢1层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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