合肥晶合集成电路股份有限公司任伟获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利晶舟升降机构监控装置、炉管升降系统和半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223844274U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520030656.1，技术领域涉及：H10P74/00；该实用新型晶舟升降机构监控装置、炉管升降系统和半导体设备是由任伟;陈品杉;陈晓红;孙玲玉;李耀华设计研发完成，并于2025-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶舟升降机构监控装置、炉管升降系统和半导体设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶舟升降机构监控装置、炉管升降系统和半导体设备，该监控装置包括第一压力传感器、第二压力传感器、第一挡板和第二挡板；第一压力传感器和第二压力传感器均与安装于晶舟升降机构的丝杆上的螺母固定连接，且第一压力传感器位于第二压力传感器的上方；第一挡板和第二挡板分设于丝杆的轴向两端，当晶舟升降机构上升至上限点位时，第一压力传感器能够挤压第一挡板，当晶舟升降机构下降至下限点位时，第二压力传感器能够挤压第二挡板，其中，上限点位为使得炉管完全密封时的理论点位，下限点位为使得晶舟到达晶圆传输位置时的理论点位。本实用新型不仅可以实现对晶舟升降机构的位置的监控，而且可以监控炉管的密闭性。
本实用新型晶舟升降机构监控装置、炉管升降系统和半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种晶舟升降机构监控装置，其特征在于，包括第一压力传感器、第二压力传感器、第一挡板和第二挡板； 所述第一压力传感器和所述第二压力传感器均与安装于晶舟升降机构的丝杆上的螺母固定连接，且所述第一压力传感器位于所述第二压力传感器的上方； 所述第一挡板和所述第二挡板分设于所述丝杆的轴向两端，当所述晶舟升降机构上升至上限点位时，所述第一压力传感器能够挤压所述第一挡板，当所述晶舟升降机构下降至下限点位时，所述第二压力传感器能够挤压所述第二挡板，其中，所述上限点位为使得炉管完全密封时的理论点位，所述下限点位为使得晶舟到达晶圆传输位置时的理论点位。
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