株洲中车时代半导体股份有限公司吴威获国家专利权
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龙图腾网获悉株洲中车时代半导体股份有限公司申请的专利一种晶圆传送装置及加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223844251U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520315789.3，技术领域涉及：H10P72/30；该实用新型一种晶圆传送装置及加工设备是由吴威;徐凝华;贺新强;王哲;张将来;汤亮亮;方杰;何思源;唐涛;刘波设计研发完成，并于2025-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆传送装置及加工设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于晶圆加工技术领域，具体涉及一种晶圆传送装置及加工设备，花篮用于容纳晶圆，机械臂用于拾取及移动晶圆，校正组件包括升降机构一和侧推机构，升降机构一用于驱动侧推机构升降，侧推机构用于沿花篮供晶圆移入和移出的一侧向花篮内部的方向推动，调整组件包括识别机构和旋转平台，识别机构位于旋转平台侧面或朝向旋转平台设置，旋转平台用于放置晶圆并驱动晶圆转动，使识别机构识别到晶圆上的标记。本实用新型使晶圆送至加工工位时的位置和方位准确且保持一致，避免因晶圆位置和方位问题影响加工操作以及出现因晶圆位置和方位问题导致加工操作过程中出现的晶圆破损、裂片等异常问题，提高晶圆自动化上料和加工可靠性和稳定性。
本实用新型一种晶圆传送装置及加工设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传送装置，其特征是，包括花篮3、机械臂6、校正组件4和调整组件5，所述花篮3用于容纳晶圆，所述机械臂6用于拾取及移动晶圆，所述校正组件4包括升降机构一41和侧推机构，所述升降机构一41用于驱动侧推机构在花篮3供晶圆移入和移出的一侧沿花篮3的高度方向升降，所述侧推机构用于沿花篮3供晶圆移入和移出的一侧向花篮3内部的方向推动，所述调整组件5包括识别机构51和旋转平台52，所述识别机构51位于旋转平台52侧面或朝向旋转平台52设置，所述旋转平台52用于放置晶圆并驱动晶圆转动，使识别机构51识别到晶圆上的标记。
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