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龙图腾网获悉盛合晶微半导体(江阴)有限公司申请的专利一种晶圆贴膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223844232U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520350806.7，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种晶圆贴膜装置是由王法猛;谢辛芳设计研发完成，并于2025-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆贴膜装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆贴膜装置，包括基座和工作台，四个型号不同的工作台分别位于基座侧面，以应对不同的工艺需求，基座侧面设置有第一传动轨道，工作台底面设置有第二传动轨道，第一传动轨道和第二传动轨道之间通过连接装置连接，在更换工作台时，连接装置与第一传动轨道、第二传动轨道配合，使工作台移动至基座顶面，实现了工作台的快速更换，显著提高了工作效率，同时避免了异物附着的风险；工作台中设置有制热装置和制冷装置，能够在短时间内对工作台的温度进行快速调节，进一步提高了工作效率。

本实用新型一种晶圆贴膜装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆贴膜装置，其特征在于，包括： 基座，所述基座为正四棱柱结构，具有依次连接的第一侧面、第二侧面、第三侧面和第四侧面，第一凹槽自所述第一侧面的底部依次沿第三方向、第一方向、第三方向延伸至所述第三侧面的底部，第二凹槽自所述第二侧面的底部依次沿第三方向、第二方向、第三方向延伸至所述第四侧面的底部，其中，所述第一方向、所述第二方向、所述第三方向互相垂直，且所述第一方向和所述第二方向形成的平面与所述基座的顶面重合； 第一传动轨道，位于所述第一侧面、所述第三侧面的所述第一凹槽中，以及所述第二侧面、所述第四侧面的所述第二凹槽中； 工作台，所述工作台为圆柱形结构，其底面设置有第二传动轨道，所述工作台包括叠置的第一部分和第二部分，所述第一部分中设置有制热装置，所述第二部分中设置有制冷装置；所述工作台的数量为四个，且四个所述工作台的型号不同； 连接装置，用于连接所述基座和所述工作台，所述连接装置包括依次连接的滑动杆、摆臂轴和连接杆，所述滑动杆与所述第一传动轨道垂直连接，所述摆臂轴用于带动所述连接杆转动，所述连接杆与所述第二传动轨道垂直连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人盛合晶微半导体(江阴)有限公司，其通讯地址为：214437 江苏省无锡市江阴市东盛西路9号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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