宸微设备科技(苏州)有限公司姚成汉获国家专利权
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龙图腾网获悉宸微设备科技(苏州)有限公司申请的专利晶圆烘烤腔室以及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223844229U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520175729.6，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型晶圆烘烤腔室以及半导体设备是由姚成汉;张满;邹文慧设计研发完成，并于2025-01-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆烘烤腔室以及半导体设备在说明书摘要公布了：一种晶圆烘烤腔室以及半导体设备，晶圆烘烤腔室的腔体包括堆叠排布的多个工艺腔室，每个工艺腔室中均间隔设置有多个用于承载晶圆的底座，通过多个工艺腔室且在每个工艺腔室中设置多个底座，提高了晶圆处理量。此外，进气口的数量为多个，且分别设置在第二方向相对的两个侧壁上，抽气口与工艺腔室连通，且在第一方向上位于多个进气口一侧，也就是说抽气口和多个进气口间隔设置，通过进气口和抽气口间隔设置的方式，使得气体能够在工艺腔室内形成定向流动，且由于进气口分别设置在第二方向的侧壁上，使得气体能够从第二方向的两个侧壁同时进入工艺腔室，有利于保证工艺腔室内气体分布的均匀性，使得挥发物及时排出，提升晶圆的烘烤质量和均一性。
本实用新型晶圆烘烤腔室以及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆烘烤腔室，其特征在于，包括： 腔体，包括堆叠排布的多个工艺腔室，且每个所述工艺腔室中均间隔设置有多个用于承载晶圆的底座，所述工艺腔室包括在平面内的第一方向，以及与所述第一方向垂直的第二方向； 进气口，与所述工艺腔室连通，且在第一方向上位于所述工艺腔室的一侧，所述进气口的数量为多个，且分别设置在所述第二方向相对的两个侧壁上；抽气口，与所述工艺腔室连通，且在所述第一方向上，位于所述多个进气口的同一侧。
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