上海积塔半导体有限公司沈一鸣获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利气体传输装置及半导体工艺机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223844218U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520008170.8，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型气体传输装置及半导体工艺机台是由沈一鸣;杨新华设计研发完成，并于2025-01-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本气体传输装置及半导体工艺机台在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种气体传输装置及半导体工艺机台。气体传输装置用于传输工艺气体，包括：气箱，用于提供工艺气体；第一气体传输管路，连接至气箱，用于将工艺气体传输至一反应腔，第一气体传输管路设置有第一气体流量检测器，第一气体流量检测器用于对流经第一气体传输管路的工艺气体流量进行检测；第二气体传输管路，连接至气箱，用于将工艺气体传输至反应腔，第二气体传输管路设置有第二气体流量检测器，第二气体流量检测器用于对流经第二气体传输管路的工艺气体流量进行检测；气体传输装置能够在第一气体流量检测器、第二气体流量检测器任意其一检测到气体流量异常时停止传输工艺气体。上述技术方案在其一气体传输管路的气体流量异常时停止传输。
本实用新型气体传输装置及半导体工艺机台在权利要求书中公布了：1.一种气体传输装置，用于传输工艺气体，其特征在于，包括： 气箱，用于提供所述工艺气体； 第一气体传输管路，连接至所述气箱，用于将工艺气体传输至一反应腔，所述第一气体传输管路设置有第一气体流量检测器，所述第一气体流量检测器用于对流经所述第一气体传输管路的工艺气体流量进行检测； 第二气体传输管路，连接至所述气箱，用于将工艺气体传输至所述反应腔，所述第二气体传输管路设置有第二气体流量检测器，所述第二气体流量检测器用于对流经所述第二气体传输管路的工艺气体流量进行检测； 所述气体传输装置能够在所述第一气体流量检测器、第二气体流量检测器任意其中之一检测到气体流量异常时停止传输所述工艺气体。
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