同日工业自动化设备(深圳)有限公司白子昊获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉同日工业自动化设备(深圳)有限公司申请的专利一种晶圆板加热设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223844217U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423312983.0，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种晶圆板加热设备是由白子昊;卢立华;李珍宝;钟林辉设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆板加热设备在说明书摘要公布了：一种晶圆板加热设备，包括机架组件、上下料口组件、夹取搬运组件、若干加热台组件，其中：上下料口组件、夹取搬运组件及加热台组件设置在机架组件上；加热台组件成排间隔设置，上下料口组件设置在其中一排加热台组件的一端，夹取搬运组件位于两排加热台组件之间；上下料口组件用于晶圆板的上料和下料；加热台组件用于对晶圆板加热；夹取搬运组件，可沿着成排的加热台组件长度方向位移且可旋转，用于将上下料口组件的晶圆板搬运至加热台组件加热，将加热台组件加热好的晶圆板搬运至上下料口组件下料。本发明提高了晶圆板加热效率和加热质量，降低了人工劳动强度。
本实用新型一种晶圆板加热设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆板加热设备，其特征在于，包括机架组件、上下料口组件、夹取搬运组件、若干加热台组件，其中： 所述上下料口组件、所述夹取搬运组件及所述加热台组件设置在所述机架组件上；所述加热台组件成排间隔设置，所述上下料口组件设置在其中一排所述加热台组件的一端，所述夹取搬运组件位于两排所述加热台组件之间； 所述上下料口组件用于晶圆板的上料和下料； 所述加热台组件用于对晶圆板加热，若干所述加热台组件加热温度相同或不同； 所述夹取搬运组件，可沿着成排的所述加热台组件长度方向位移且可旋转，用于将所述上下料口组件的晶圆板搬运至对应的加热温度的所述加热台组件加热，将加热台组件加热好的晶圆板搬运至所述上下料口组件下料。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人同日工业自动化设备(深圳)有限公司，其通讯地址为：518108 广东省深圳市宝安区石岩街道塘头社区塘头第三工业园新辉专精特新产业园C栋厂房三层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励