浙江创芯集成电路有限公司李平获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利半导体处理装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223844214U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423250386.X,技术领域涉及:H10P72/00;该实用新型半导体处理装置是由李平;李扬;宋喆宏;陈聪;郭东谕设计研发完成,并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体处理装置在说明书摘要公布了:本申请提供一种半导体处理装置,包括:定位结构;第一传输结构;以及清洁单元,位于定位结构和第一传输结构之间;其中,清洁单元包括:离子风吹气结构和吸气结构,离子风吹气结构用于给半导体结构吹扫离子风,吸气结构用于将半导体结构表面掉落的颗粒吸附进吸气结构。半导体处理装置能提高对半导体结构表面的颗粒的清洁程度。
本实用新型半导体处理装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体处理装置,其特征在于,包括: 定位结构; 第一传输结构;以及 清洁单元,位于所述定位结构和所述第一传输结构之间; 其中,所述清洁单元包括:离子风吹气结构和吸气结构,所述离子风吹气结构用于给半导体结构吹扫离子风,所述吸气结构用于将所述半导体结构表面掉落的颗粒吸附进所述吸气结构。
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