重庆芯联微电子有限公司邓辉获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆芯联微电子有限公司申请的专利一种用于光刻机台中热板降温的冷却板及烘烤装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223842308U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520371039.8，技术领域涉及：G03F7/16；该实用新型一种用于光刻机台中热板降温的冷却板及烘烤装置是由邓辉;方震宇设计研发完成，并于2025-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于光刻机台中热板降温的冷却板及烘烤装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种用于光刻机台中热板降温的冷却板及烘烤装置，包括本体，所述本体的侧边设置有与内部连通的入口和出口；所述本体内部为空腔设计，并设有导向结构，所述导向结构至少包括第一导流板和第二导流板，所述第一导流板设置在所述入口和所述出口之间、并向所述本体内部延伸，所述第二导流板对称地设置在所述第一导流板延伸端的两侧，用于引导冷却液从所述入口进入，沿预定路径流向所述出口。通过将本体内部构造由原来的管路构造改为全腔体填充，并设置导向结构，冷却液能够在更大的面积内均匀分布，从而显著提高热传导效率。
本实用新型一种用于光刻机台中热板降温的冷却板及烘烤装置在权利要求书中公布了：1.一种用于光刻机台中热板降温的冷却板，其特征在于，包括本体，所述本体的侧边设置有与内部连通的入口1和出口2；所述本体内部为空腔设计，并设有导向结构3，所述导向结构3至少包括第一导流板301和第二导流板302，所述第一导流板301设置在所述入口1和所述出口2之间、并向所述本体内部延伸，所述第二导流板302对称地设置在所述第一导流板301延伸端的两侧，用于引导冷却液从所述入口1进入，沿预定路径流向所述出口2。
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