深圳市森美协尔科技有限公司余多明获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市森美协尔科技有限公司申请的专利具有布线弹簧的扫片机构及晶圆检测装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223842164U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520523291.6,技术领域涉及:G01V8/16;该实用新型具有布线弹簧的扫片机构及晶圆检测装置是由余多明设计研发完成,并于2025-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有布线弹簧的扫片机构及晶圆检测装置在说明书摘要公布了:本申请提供的一种具有布线弹簧的扫片机构及晶圆检测装置,包括支臂固定板、第一支臂、第一传感器、第一布线弹簧、第一布线,第一支臂设于支臂固定板上,第一支臂能够相对于支臂固定板移动,第一传感器设于第一支臂上,第一布线弹簧的一端连接第一支臂,第一布线弹簧的另一端连接支臂固定板,第一布线的一端电连接于第一传感器,第一布线的一部分连接第一布线弹簧,第一布线的另一端连接支臂固定板,通过设置第一布线弹簧,将第一布线的一部分连接于第一布线弹簧,以避免第一布线下坠,在狭小的空间中又存在刮擦其他机构的风险,对于第一传感器的第一布线规整合理,实现对第一布线的约束,同时延长第一布线的使用寿命。
本实用新型具有布线弹簧的扫片机构及晶圆检测装置在权利要求书中公布了:1.一种具有布线弹簧的扫片机构,其特征在于,包括: 支臂固定板; 第一支臂,所述第一支臂设于所述支臂固定板上,所述第一支臂能够相对于所述支臂固定板移动; 第一传感器,所述第一传感器设于所述第一支臂上; 第一布线弹簧,所述第一布线弹簧的一端连接所述第一支臂,所述第一布线弹簧的另一端连接所述支臂固定板;及 第一布线,所述第一布线的一端电连接于所述第一传感器,所述第一布线的一部分连接所述第一布线弹簧,所述第一布线的另一端连接所述支臂固定板。
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