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龙图腾网获悉杭州中安电子股份有限公司申请的专利一种晶圆老化测试装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223842073U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520030850.X，技术领域涉及：G01R31/28；该实用新型一种晶圆老化测试装置是由林泽涛;李吉雷;周玉军;卜建明;贺庭玉;廖剑;柴俊标;余亮;卜予城设计研发完成，并于2025-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆老化测试装置在说明书摘要公布了：一种晶圆老化测试装置，涉及晶圆测试设备技术领域，包括晶圆老化测试夹具和晶圆老化测试台，晶圆老化测试夹具包括夹具探针板卡组件、夹具卡盘组件和加热吸盘组件。夹具探针板卡组件包括板卡托板、板卡转接板、探针固定板和螺栓组件，夹具卡盘组件包括卡盘底座，加热吸盘组件从上到下依次包括加热吸盘、加热吸盘垫片、加热片和加热片托板。晶圆老化测试台包括测试驱动板模组、升降模组、平移模组和承载台，测试驱动板模组包括驱动板底板、驱动板组件、驱动转接探针板，承载台包括夹具载板及夹具垫板。本实用新型的设备体积小，使得占用空间小，另外设备结构模块化设计，便于测试人员操作，提高测试效率，实现了大批量测试。

本实用新型一种晶圆老化测试装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆老化测试装置，其特征在于：包括晶圆老化测试夹具100和晶圆老化测试台200； 所述晶圆老化测试夹具100包括夹具探针板卡组件110、夹具卡盘组件120和加热吸盘组件130； 所述夹具探针板卡组件110包括板卡托板111、固定在板卡托板111顶面的板卡转接板112、固定在板卡转接板112底面的探针固定板113和一定数量的螺栓组件114，板卡托板111中间设有圆孔，探针固定板113位于圆孔内且其上设有栅极元极探针区113.1，栅极元极探针区113.1设有呈阵列分布的栅极元极探针，栅极元极探针区113.1侧边设有共极探针113.2，板卡转接板112顶面设有转接区112.1，转接区112.1设有呈阵列分布的转接触点； 所述板卡托板111两侧设有翼板111.3，翼板111.3上设有条形孔A111.4，翼板111.3前后设有定位凹槽111.5，所述板卡转接板112顶面中间固定有板卡固定板115，所述螺栓组件114包括定位螺栓套114.1及其内的定位螺栓114.2，定位螺栓套114.1固定于板卡固定板115顶面外周，定位螺栓114.2顶部设有螺栓轴承114.3，定位螺栓114.2与定位螺栓套114.1之间设有压缩弹簧A114.4； 所述夹具卡盘组件120包括卡盘底座121，卡盘底座121顶面设有空腔121.1，侧面设有充气接头122、抽气接头座123和内线转接板124，充气接头122与空腔121.1连通，卡盘底座121上设有抽气通道A121.2，抽气通道A121.2外端连通抽气接头座123，内端位于空腔121.1底部中间且设有绝缘密封垫块125，空腔121.1内设有与内线转接板124连接的内线126； 所述加热吸盘组件130从上到下依次包括加热吸盘131、加热吸盘垫片132、加热片133和加热片托板134，加热吸盘131内设有一定数量从中间向四周延伸的抽气通道B131.1，顶面设有一定数量与抽气通道B131.1连通的抽气孔131.2，底面中间设有与抽气通道B131.1连通的抽气接头A135，抽气接头A135穿过加热吸盘垫片132、加热片133和加热片托板134与绝缘密封垫块125相抵，加热吸盘131顶面侧边设有共极导电柱131.3； 所述加热吸盘131外周设有一定数量的固定螺栓136并通过固定螺栓136固定在所述卡盘底座121的空腔121.1内，所述板卡转接板112底面与所述卡盘底座121外周顶面相抵并通过螺栓组件114固定； 所述晶圆老化测试台200包括测试驱动板模组210、升降模组220、平移模组230和承载台240； 所述测试驱动板模组210包括驱动板底板211、固定在驱动板底板211顶面的驱动板组件212和固定在驱动板组件212底面的驱动转接探针板213，驱动板底板211中间设有圆孔，驱动转接探针板213位于圆孔内且其上设有呈阵列分布的探针； 所述升降模组220包括测试台底板221及其两侧的升降气缸组件222，升降气缸组件222活动端设有升降安装板223，驱动板底板211两侧与升降安装板223固定； 所述平移模组230包括平移底板231及其底部的平移气缸组件232，平移底板231内端固定于测试台底板221中间； 所述承载台240包括夹具载板241及其顶面固定的夹具垫板242，夹具载板241底面与平移气缸组件232的活动端固定，夹具垫板242前侧的夹具载板241上设有若干夹具前挡块243，后侧的夹具载板241上设有若干夹具后挡块244，所述夹具载板241的前端设有条形孔B241.1。

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