杭州中安电子股份有限公司周玉军获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉杭州中安电子股份有限公司申请的专利一种用于加热及吸附晶圆的载台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223841959U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520031031.7，技术领域涉及：G01R1/04；该实用新型一种用于加热及吸附晶圆的载台是由周玉军;左小波;林泽涛;卜建明;贺庭玉;廖剑;柴俊标;余亮;卜予城设计研发完成，并于2025-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于加热及吸附晶圆的载台在说明书摘要公布了：一种用于加热及吸附晶圆的载台，涉及晶圆老化测试设备技术领域，载台从上到下依次包括加热吸盘、加热吸盘垫片、加热片和加热片托板，加热吸盘内设有一定数量从中间向四周延伸的抽气通道，顶面设有一定数量与抽气通道连通的抽气孔，底面中间设有与抽气通道连通的抽气接头，加热吸盘顶面侧边设有共极导电柱。本实用新型通过低压吸附固定晶圆，提高了装置的可靠性，确保了老化测试过程中对晶圆器件的防护，同时加热均匀、热量散失少，便于测试人员操作，提高测试效率，实现了大批量测试。
本实用新型一种用于加热及吸附晶圆的载台在权利要求书中公布了：1.一种用于加热及吸附晶圆的载台，其特征在于：载台10从上到下依次包括加热吸盘11、加热吸盘垫片12、加热片13和加热片托板14，加热吸盘11内设有一定数量从中间向四周延伸的抽气通道11.1，顶面设有一定数量与抽气通道11.1连通的抽气孔11.2，底面中间设有与抽气通道11.1连通的抽气接头15，加热吸盘11顶面侧边设有共极导电柱11.3。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州中安电子股份有限公司，其通讯地址为：311121 浙江省杭州市余杭区余杭街道圣地路6号2幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励